RA312 Controller는 MFC 및 CM에 +15VDC/-15VDC 전원을 공급하고 각 센서로부터 0~5V/0~10V/4~20mA의 신호를 받아 화면에 표시하는 장치이다.
또한, Convection Gauge를 연결하여 1000Torr ~ 0.1mTorr까지 압력을 표시 할 수 있으며 모든 기능은 사용자가 전면 KEY를 이용하여 설정을 할 수 있도록 설계되었다.
Convection Gauge 혹은 Capacitance Manometer를 이용하여 MFC의 유량을 제어 할 수 있는 Auto Pressure Control 기능과 여러 개의 MFC를 각각의 비율로 제어할 수 있는 RATIO 제어 기능, MFC의 Flow양을 각각 MFC별로 누적하여 최대 2년간 적산하는 기능, 8개의 Trip point를 이용하여 독립적으로 Convection 및 Capacitance Manometer의 압력을 이용한 제어뿐만 아니라 MFC의 Flow양을 모니터링 하여 제어하는 기능들을 제공한다.
최대 8개까지 Mass Flow Controller, Capacitance Manometer, Convection Gauge를 연결 할 수 있다.
5.5인치 대형화면에 키조작없이 모든 정보들을 확인 할 수 있으며, OLED 채용으로 휘도와 명도가 뛰어나 밝거나 어두운 곳에서도 판독이 매우 용이하다.
외부 인터페이스는 8개의 독립된 RELAY TRIP POINT, RS232C/RS422/RS485, TTL FLOW ON/OFF, ANALOG IN/OUT 을 제공한다.
PC에서 RS232C를 통한 제어용 Windows 프로그램을 제공하여 사용자가 컴퓨터에서 모든 제어가 가능하다.
